真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。
       真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。

       按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

　　氣體傳輸泵

　　氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵?？煞譃樽?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱?

　　變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。

　　動量傳輸泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＞唧w可分為分子真空泵、噴射真空泵、擴(kuò)散泵、擴(kuò)散噴射泵和離子傳輸泵五種。

　　氣體捕集泵

　　氣體傳輸泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，具體可分為吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵和低溫泵。